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01.12.2011 -

Ein Radiergummi für die Mikrowelt

Einleitung

Erfolgsbeispiel 021

  • Förderansatz: FuE-Einzelprojekte
  • Technologie: Mikrosystemtechnik
  • Bundesland: Berlin
Titelbild der Publikation: ZIM-Erfolgsbeispiel EP 021

Verfahren zum gleichmäßigen Abtragen von Hochleistungsfotolacken

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